Компания ООО «Дана Инжиниринг» одержала победу в конкурсе «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» на выставке VacuumTechExpo 2019
В рамках VacuumTechExpo 2019 прошёл 10-й юбилейный конкурс на лучший инновационный продукт среди компаний, занимающихся разработкой, дистрибуцией и инжинирингом вакуумного, криогенного оборудования.
Компания ООО «Дана Инжиниринг» в рамках конкурса представила разработанную нашими инженерами-конструкторами вакуумную напылительную установку Kurchatov.
Установка ориентирована для использования на серийном и крупносерийном производстве. Данная установка построена по принципу in line: последовательное расположение загрузочной, шлюзовой и технологических камер. Ключевой особенностью данной установки является размещение технологических устройств на боковых стенках вакуумной камеры в специальных откидывающихся отсеках, при котором значительно упрощается смена мишеней и обслуживание технологических устройств. Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который линейно перемещается в технологической камере. Установка состоит из модулей: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства и производительности.
Преимущества
В установках платформы Kurchatov используются магнетроны, вакуумно-дуговые испарители и ионные источники протяжённой геометрии. Катоды технологических устройств выполняются как плоскими, так и цилиндрическими.
Предусмотрен нагрев подложек на всём пути их следования: от шлюзовой камеры до конца технологической.
Габариты вакуумной камеры зависят от размера зоны равномерности напыления на подложку. В зависимости от размеров технологических устройств выбираются способы контроля и управления равномерностью напыления.
Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.
Области применения
По итогам конкурса «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» победителем стала компания «Дана Инжиниринг»!
