УВП-250 в Екатеринбурге
Универсальный вакуумный пост предназначен для проведения физических экспериментов при пониженном давлении вплоть до высокого вакуума - 5·10-7 мм. рт. ст. Данный вакуумный пост отлично подходит для нанесения покрытий методами физического осаждения (PVD), химического осаждения (CVD), плазмо-химического осаждения (PECVD), термического распыления, электронно-лучевого распыления и многих других. Также вакуумный пост УВП-250 возможно адаптировать для проведения исследований в области физики твёрдого тела при установке соответствующего оборудования.
Управление процессом откачки и подъёма/опускания вакуумной камеры осуществляется как в ручном, так и в автоматическом режимах. Давление и состояние вакуумного поста отображается на ЖК-дисплее.
Вакуумная камера выполнена в виде колпака. Материал камеры - нержавеющая сталь 12Х18Н10Т (AISI321). На камере наварены каналы охлаждения прямоугольной формы. Фланец камеры имеет множество патрубков для подключения различных вводов: вращения, электрических, криогенных. Вакуумный пост оснащён автоматизированным механизмом подъёма камеры.
Технические характеристики Универсального вакуумного поста УВП-250.
|
Вакуумная система |
|
Внутренний диаметр
вакуумной камеры не менее, мм |
250 |
Высота
вакуумной камеры не менее, мм |
400 |
|
Тип камеры |
Цилиндрическая колпаковая |
|
Материал камеры |
Нержавеющая сталь, 12Х18Н10Т |
|
Обработка внутренней поверхности камеры |
Шлифовка, полировка |
Скорость откачки
форвакуумного насоса не менее, м3/ч |
5 |
|
Тип форвакуумного насоса |
Сухой спиральный |
|
Тип высоковакуумного насоса |
Турбомолекулярный |
Скорость откачки
высоковакуумного насоса не менее, л/с |
300 |
|
Система охлаждения |
Змеевик; Штуцеры на вход/выход: ¼’ |
|
Рабочий вакуум, мм.рт.ст. |
1х10-6 |
|
Предельный вакуум, мм. рт.ст. |
5х10-7 |
|
Время выхода на рабочий вакуум не более, мин. |
60 |
|
Вакуумметр, тип |
Комбинированный широкодиапазонный |
|
Диапазон измерения давления, мм.рт.ст. |
760
|
|
Байпасная откачная магистраль |
да |
|
Высоковакуумный затвор |
Пневмоуправляемый, нормально закрытый |
|
Присоединительные фланцы |
KF16 - 2 шт. KF25 - 6 шт. |
|
Управление |
|
|
Тип управления |
Ручной/автоматический |
|
Способ управления вакуумной системой |
Электропневматический |
|
Индикация давления и состояния вакуумной системы |
ЖК-экран на панели управления |
|
Общие характеристики |
|
|
Габариты: ширина х глубина х высота, мм |
1000х1200х1800(2400) |
|
Масса не более, кг |
250 |
|
Электропитание, В |
220 |
|
Число фаз питания |
1 |
|
Давление подводимого воздуха, Бар |
4-8 |
|
Потребляемая мощность, КВт |
0,5
|
ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
